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等離子清洗機的加工工藝氣體怎么選？-深圳金徠
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作者:深圳金徠
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發(fā)布時間: 1508天前
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等離子清洗機常見的加工工藝氣體有co2、氬氣、N2、氡氣、四氟化碳等。它是將氣體弱電解質(zhì)造成等離子體對產(chǎn)品工件開展表面解決,不論是開展清理還是表面活性,為達到最好的解決實際效果會采用不一樣的加工工藝氣體,那麼等離子清洗機的常見加工工藝氣體又該如何選擇呢?
1、co2
co2是等離子清洗常見的活性氣體,歸屬于物理學+有機化學的處理方法,弱電解質(zhì)后造成的正離子體可以對表面開展物理學負電子,產(chǎn)生不光滑表面。另外高活性的氧離子可以與被斷鍵后的分子結(jié)構鏈產(chǎn)生化學變化產(chǎn)生活性官能團的親水性表面,做到表面活性的目地;被斷鍵后的有機化學空氣污染物的原素會與高活性的氧離子產(chǎn)生化學變化,產(chǎn)生CO、CO2、H2O等分子式擺脫表面,做到表面清理的目地。
co2關鍵運用于纖維材料表面活性及有機化學空氣污染物除去,但不適感用以易空氣氧化的金屬材料表面。真空泵等離子情況下的氧等離子展現(xiàn)淺藍色,一部分充放電標準下相近乳白色。充放電自然環(huán)境光源較為亮,人眼觀查時很有可能會出現(xiàn)看不見真內(nèi)腔身體有充放電的狀況。
2、氬氣
氬氣是一種可塑性氣體,弱電解質(zhì)后造成的正離子體不容易與板材產(chǎn)生化學變化,在等離子清洗中關鍵被運用于板材表面的物理學清理及表面鈍化處理,較大的特性便是在表面清理中不容易導致高精密電子元器件的表面空氣氧化。正是如此,氬等離子清洗機在半導體材料、微電子技術、晶圓制造等制造行業(yè)被廣泛運用。
氬氣在真空泵等離子清洗機中被弱電解質(zhì)所造成的等離子體呈深紅色。在同樣的充放電自然環(huán)境下,氡氣和N2所造成的等離子體色調(diào)全是呈鮮紅色,但氬等離子體的色度會小于N2且高過氡氣,還是比較好區(qū)別的。
3、氡氣
氡氣與co2相近,歸屬于高活性氣體,能夠 對表面開展活性及清理。氡氣與co2的差別主要是反映后產(chǎn)生的活性官能團不一樣,另外氡氣具備氧化性,可用以金屬材料表面的外部經(jīng)濟空氣氧化層除去且不容易對表面比較敏感有機化學層導致毀壞。因此 在微電子技術、半導體材料及pcb線路板生產(chǎn)制造制造行業(yè)應用范圍廣。
因氡氣為危險因素氣體,未被弱電解質(zhì)時與co2匯聚會產(chǎn)生自暴,因此 在等離子清洗機中一般是嚴禁二種氣體混和應用的。真空泵等離子情況下氫等離子呈鮮紅色,與氬等離子相近,要同樣的充放電自然環(huán)境下比氬等離子色調(diào)略深。
4、N2
N2弱電解質(zhì)產(chǎn)生的等離子體可以與一部分分子式產(chǎn)生鍵合反映,因此 也是一種活性氣體,但相對性于co2和氡氣來講,其顆粒較為重,一般狀況下到等離子清洗機運用時會把此氣體定義在活性氣體co2、氡氣與可塑性氣體氬氣中間的一種氣體。在清理活性的另外可以做到一定負電子、離子注入的實際效果,另外可以避免 一部分金屬材料表面出現(xiàn)空氣氧化。N2與別的氣體組成產(chǎn)生的等離子體一般會被運用于一些材料的解決。真空泵等離子情況下氮等離子也是呈鮮紅色,在同樣的充放電自然環(huán)境下,氮等離子會比氬等離子和氫等離子更亮一些。
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