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新聞資訊
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等離子清洗機清洗原理-深圳金徠
來源:
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作者:深圳金徠
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發(fā)布時間: 2021-06-18
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等離子清洗機清洗原理
通過化學或物理作用對工件表面進行處理，實現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為幾個～幾十個納米），從而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能為有機物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對應不同的污染物，應采用不同的清洗工藝，根據(jù)選擇的工藝氣體不同，等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。
1、化學清洗:
表面作用以化學反應為主的等離子體清洗，又稱 PE。
氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表面氧化層，清潔金屬表面
氧等離子體通過化學反應可使非揮發(fā)性有機物變成易揮發(fā)的H2O 和 CO2
2、物理清洗：
表面作用以物理反應為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。
Ar＋在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產(chǎn)生動能，然后轟擊在放在負電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂溢出或是微顆粒污染物，同時進行表面能活化。
3、物理化學清洗：
表面作用中物理反應與化學反應均起重要作用。
等離子清洗的作用原理主要是：
（1）對材料表面的刻蝕作用--物理作用
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
（2）激活鍵能，交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
（3）形成新的官能團--化學作用
如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。