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等離子清洗,通過(guò)與電離氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)去除污染顆粒.進(jìn)行氧化銅還原反應(yīng)時(shí),氧化銅將會(huì)暴露在氫氣的混合氣體-等離子體中,由此使氧化物發(fā)生化學(xué)還原反應(yīng),并形成水蒸汽。
等離子清洗與其他清洗方法相比具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn):