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ShenZhen city JinLai Technology Co., Ltd.???
深圳市金徠技術有限公司????
產(chǎn)品分類
等離子去膠機

等離子去膠機

產(chǎn)品型號:JL-RR08

設備功能:對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。


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商品描述

產(chǎn)品型號:JL-RR08

設備功能:對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。




技術參數(shù):


  

JL-RR8

等離子源系統(tǒng)

 

13.56MHz  射頻

 

0~300W可調

真空系統(tǒng)

 

真空腔體

 

材質

 

腔體內部尺寸

Φ250 * Dept.260(直徑*深mm)

腔體容積

12 L

處理最大尺寸

8英寸

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

±1% FS

氣路控制

4路處理氣體氣路,氣體流量可調

極限真空

5Pa

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、CF4、N?O?等等可選

控制系統(tǒng)

 

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

750*450*500(寬高深)

   

55KG

設施配置

     

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定。

壓縮空氣

     

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.

質保、售后服

務和技術支持

 

      

年免費的維保和備件免費更換

技術支持

接到設備故障通知1個小時內提供遠程技術支持,對遠程無法定位解決的問題,提供現(xiàn)場維修服務

      

設備正式試用前,提供完整、免費的技術培訓


聯(lián)系方式


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